10月17日，记者从正在深圳举行的2025湾区半导体产业生态博览会上获悉，作为国家专精特新重点“小巨人”企业，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司携射频电源、匹配器与阻抗调整器等系列产品亮相，对外展示了自主研发的最新技术成果。在同期举行的2025年度湾芯奖颁奖盛典上，恒运昌凭借其在半导体设备核心零部件领域的技术突破与卓越表现，荣获第六届“IC 创新奖”技术创新奖。

　　“半导体制造中，等离子体射频电源系统长期被国外巨头垄断。这个细分领域技术壁垒高，涉及多学科交叉，研发周期长，且对产品一致性和稳定性要求极为严苛。”深圳市恒运昌真空技术股份有限公司董事长乐卫平表示，利用低温等离子体进行薄膜沉积、刻蚀、离子注入等，空间尺度和时间尺度跨度相当大，需要在直径300毫米的晶圆上进行以埃为单位的微加工，时间尺度上从电子响应时间的纳秒级别一直到单种工艺的宏观分钟级别，技术挑战难度很大。更棘手的是，射频电源系统的负载是等离子体，这是一个始终处于动态变化的非线性系统。为此，恒运昌选择了一条与众不同的发展路径，从底层技术入手构建自主技术体系。

　　经过十余年的持续研发创新和核心技术攻关，恒运昌构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等在内的等离子体射频电源系统运行中的关键技术体系，形成三大基石技术和八大产品化支撑技术，实现了核心技术的完全自主可控。推出的CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，响应了半导体芯片制造工艺中对等离子体射频电源系统“快、准、稳”的核心需求，研制出全数字化、高精度、高稳定性等离子体射频电源系统，为半导体设备核心零部件国产化之路铺设基石。

　　据介绍，该公司参与制定的多项行业标准正在推动整个产业链的技术进步。面对未来，恒运昌已提前布局更前沿的技术领域，将大数据和人工智能成果与射频电源系统产品相结合，促进射频电源设计技术快速迭代。

　　乐卫平表示，恒运昌将继续抢抓半导体产业链国产化的历史机遇，持续开展核心技术攻关，丰富产品种类、提高技术先进性，助力国内半导体设备关键零部件的全面自主可控。